Line-scan + TDI 센서 — 초고속 라인 검사의 물리
한 줄씩 이미지를 짓는 방식, 그리고 어두운 빛도 살려내는 TDI의 원리
일반 카메라(Area-scan)는 매 순간 2D 프레임을 통째로 찍습니다. Line-scan 카메라는 다릅니다. 단 한 줄(또는 몇 줄)의 픽셀만 갖고 있고, 물체가 그 앞을 지나가면서 한 줄씩 이미지가 쌓여 2D 사진이 됩니다.
Area-scan
2D 스냅샷물체 정지 또는 스톱앤고
넓지 않은 시야, 짧은 시간
범용 검사 · 부품 촬영
Line-scan
1D 라인 반복연속 이동 물체 촬영
가로 픽셀 10k~30k 초고해상도
Web · 웨이퍼 · 실린더 검사
- 초고해상도 폭 — 한 줄에 10,000~30,000 픽셀. Area-scan으론 이 수준 폭에 도달 어려움
- 연속성 — 컨베이어·롤투롤 라인처럼 끊임없이 이동하는 물체에 최적
- 사이즈 제한 없음 — 물체 길이가 아무리 길어도 이동만 하면 촬영 가능 (수 미터 알루미늄 코일 등)
- 모션 블러 없음 — 이동 속도에 맞춰 라인 레이트를 동기화하면 매 라인은 매우 짧은 노출로 정지 상태나 마찬가지
TDI는 Line-scan의 확장판입니다. 픽셀이 단 한 줄이 아니라 여러 줄(수십~256줄)이 있고, 이 여러 줄이 물체 이동과 동기되어 같은 지점의 신호를 여러 번 누적합니다.
- 물체의 한 지점이 Row 1 아래에 들어와 노출됨 → 신호 1단위 발생
- 물체가 픽셀 하나만큼 이동, 신호가 Row 1 → Row 2로 동기 이동
- 같은 지점이 Row 2에도 노출됨 → 신호 2단위 (누적)
- Row 3, Row 4까지 반복 → 최종 신호 4단위 (4단 TDI)
- Row N 끝단에서 N배 신호로 판독 완료
즉 128단 TDI라면 SNR이 √128 ≈ 11배 좋아집니다. 노출 시간을 늘리지 않고, 라인 레이트도 그대로인데 신호만 강해집니다.
TDI의 강점은 "같은 지점을 여러 번 촬영"이라는 전제 위에 성립합니다. 이 동기가 어긋나면 — 즉 물체 이동 속도와 라인 레이트가 맞지 않으면 — 신호가 여러 지점에 걸쳐 누적되어 흐릿한(motion smeared) 이미지가 됩니다.
v = 이동 속도 (m/s), p = 물체 상에서의 픽셀 크기(m) = 픽셀 피치 ÷ 광학 배율
예: 배율 1x, 픽셀 피치 10μm, 이동 속도 1 m/s → 라인 레이트 = 1 / 10μm = 100 kHz
- 컨베이어/스테이지에 로터리·리니어 엔코더 부착
- 엔코더가 일정 거리마다 펄스 출력 → 이 펄스로 라인 트리거
- 속도가 흔들려도 이동 거리 기준으로 라인이 나가므로 이미지 왜곡 최소
Line-scan은 라인 레이트 오차가 세로 방향 확대/축소로 나타나지만, TDI는 오차가 축적되어 이미지 자체가 흐려집니다. 128단 TDI라면 128번 어긋난 채로 신호가 쌓이니까요.
- 이동 방향과 센서 라인 방향의 수직도: 0.05° 이내 권장
- 속도 지터(jitter): 픽셀 피치의 10~20% 이하가 이상적
- 엔코더 해상도: 서브 픽셀 수준이 이상적 (예: 픽셀 10μm면 엔코더 2~5μm)
| 현장 | 왜 TDI인가 |
|---|---|
| 웹(Web) 검사 — 인쇄물·종이·필름·직물 | 롤투롤 초고속 이동, 어두운 재질도 안정적 이미지 |
| 반도체 웨이퍼·마스크 검사 | 미세 결함 검출에 초고감도 필요, 극단적 라인 속도 |
| 스틸·알루미늄 시트 검사 | 수 미터 폭, 초당 수 미터 이동, 저조도 환경 |
| 지폐·유가증권 검사 | 미세 인쇄 판독, 형광 잉크(약한 신호) 검출 |
| PCB 인라인 AOI | 고속 이송 라인, 미세 솔더 패턴 인식 |
| 철도 레일·터널 스캔 | 차량 이동 중 연속 촬영, 조명 제약 조건 |
| 디스플레이 패널 검사 | 대형 유리 패널 이송 검사, 서브픽셀 정확도 |
| 천체 관측 (Sky Survey) | 지구 자전 속도에 맞춘 TDI로 별을 흐림 없이 촬영 |
• 광량이 충분하고 검사 속도가 중간 → 일반 Line-scan으로 충분
• 광량이 부족하거나 속도가 극단이면 → TDI가 사실상 유일한 답
Area-scan에서는 스트로브(strobe) 조명이 표준이지만, Line-scan/TDI는 거의 항상 연속광(continuous)을 씁니다. 이유는 라인 촬영의 물리에 있습니다.
• Area-scan 스트로브 — "1프레임 = 1 짧은 광펄스"로 모션 블러 제거
• Line-scan은 초당 수만~수십만 라인을 촬영. 각 라인이 이미 μs 단위 노출
• 이 속도에서 매 라인마다 광펄스를 동기시키는 건 사실상 불가능하고 이득도 없음
• 대신 매우 밝은 연속광을 뿌려 짧은 라인 노출에서도 충분한 신호를 확보
| 요구 사양 | 이유 | 실무 수치 |
|---|---|---|
| 초고휘도 (radiance) | 라인당 노출이 μs 단위 → 광량 부족하면 이미지 어둡거나 노이즈 | 수십만~수백만 lux 급 (예: Metaphase UB-LL 2.5 M lux) |
| 라인 형상 (line geometry) | 센서가 1D 형태 → 광도 1D 라인으로 집중해야 효율적 | 원통(cylindrical) 렌즈로 얇은 라인에 집속 |
| 플리커 자유 (flicker-free) | PWM 조광이 라인 레이트와 간섭하면 세로 줄무늬 발생 | DC 구동 또는 라인 레이트의 10배 이상 PWM 주파수 (수 MHz) |
| 공간 균일도 | 라인 방향 편차가 그대로 이미지 편차로 나타남 | ±5% 이내 (고급은 ±2%) |
| 단기 · 장기 안정성 | 수 시간 연속 촬영 중 광량 드리프트는 이미지 밝기 편차 | 온도 보상 · 광량 피드백 회로 탑재 제품 선호 |
| 벤더 | Line-scan/TDI 대응 시리즈 | 특징 |
|---|---|---|
| Chromasens | Corona II | 2m 급 장거리 라인 조명, LED 균일도 최상급 |
| Effilux | EFFI-LINE / EFFI-LINE3 | 초고휘도 라인, 자동 오버드라이브 |
| Metaphase | UB-LL Ultra-Bright Line Light | 최대 2.5 M lux, DC 구동 |
| CCS | LNSP / LNSP-FN / LN-HK | Focus tube · 컨버전트 라인 광 (얇은 집속) |
| Advanced Illumination | LL 시리즈 | 다양한 파장, 저가~고휘도 라인업 |
• 형광등·주변광이 있는 환경에서 주변광 억제 목적으로 매우 짧은 광펄스를 카메라 라인 노출과 동기
• 웨이퍼 검사처럼 열민감 대상에 평균 광량을 줄여야 할 때
• 이 경우도 "펄스 폭 < 라인 노출 시간"이라 일반 Area-scan 스트로브 조명과는 다른 초고속 펄스 컨트롤러가 필요합니다.
Area-scan 렌즈 선정은 "센서 대각선"이 기준이지만, Line-scan은 "센서 길이(가로 폭)"가 결정적입니다. 센서가 62mm 길이라면 렌즈의 이미지 서클도 최소 62mm를 커버해야 하고, 마운트도 그에 맞아야 합니다.
| 센서 길이 | 예시 (픽셀 × 피치) | 필요 이미지 서클 | 주 마운트 |
|---|---|---|---|
| ~ 14 mm | 2k × 7μm | ~16 mm | C-mount 가능 |
| ~ 29 mm | 4k × 7μm | ~32 mm | M42 · F-mount |
| ~ 41 mm | 8k × 5μm | ~45 mm | M58 · M72 |
| ~ 62 mm | 12k × 5μm | ~72 mm | M72 · M90 |
| ~ 82 mm | 16k × 5μm | ~90 mm | M95 |
- 큰 이미지 서클 — 센서 대각선이 아닌 센서 길이를 다 덮어야 함
- 전 영역 균일 MTF — 중심·주변 모두 픽셀 피치에서 충분한 대비 유지 (에지 성능이 특히 중요)
- 낮은 색수차 — 컬러 line-scan의 R/G/B 채널이 픽셀 단위로 일치해야 함
- 낮은 왜곡 — 웨브 검사·측정 응용에서 기하 정확도 필수
- 축상 MTF 안정 — TDI에선 여러 행이 같은 지점을 봐야 하므로 초점 이동에 민감
- Schneider-Kreuznach — Apo-Componon / Apo-Digitar HM (M72/M95)
- Rodenstock — Apo-Rodagon-D, Rodagon Line-scan (M72/M95)
- Sill Optics — CorrectalXL 시리즈
- Nikon Rayfact — line-scan 광학
- Ricoh · Kowa · Fujinon — 중소형 Line-scan 라인업
1. 광학 배율(β) 계산
β = 센서 길이 / FOV = 41 / 400 ≈ 0.10× (1:10 축소)
2. 초점거리(f) 대략치 — WD 500mm 가정
f ≈ WD × β / (1 + β) = 500 × 0.10 / 1.10 ≈ 45 mm
→ Schneider Apo-Componon HM 45mm 급 후보
3. 실제 픽셀 크기 = 5μm / 0.10 = 50μm
→ 필요 결함 크기가 50μm 이하면 배율을 더 키우거나 픽셀 더 작은 센서 선택
4. f/# 선정
회절 한계 f/# ≈ 픽셀 크기 / (1.22 × λ) 역산. 5μm 픽셀·550nm 광이면 f/7 이하 권장
| 항목 | Area-scan | Line-scan | Line-scan TDI |
|---|---|---|---|
| 센서 구조 | 2D 픽셀 매트릭스 | 1D (1~4행) | 다중행 (16 ~ 256+ 단) |
| 물체 상태 | 정지 또는 스톱앤고 | 연속 이동 | 연속 이동 + 정밀 동기 |
| 가로 픽셀 수 | 보통 1~50 MP | 2k ~ 30k | 2k ~ 16k (일반적) |
| SNR | 기본 | 기본 | √N배 개선 |
| 광량 요구 | 보통 | 많이 필요 (짧은 노출) | 적어도 됨 (누적) |
| 동기 정확도 | 불필요 | 필요 | 매우 엄격 |
| 비용 | 낮음~중간 | 중간~높음 | 높음 |
Q1. 물체가 계속 움직이는가?
No → Area-scan · Yes → 아래로
Q2. 가로 폭이 넓거나(> 4k px) 물체가 긴가?
Yes → Line-scan · No → Area-scan 재검토
Q3. 광량이 부족하거나 라인 속도가 극단인가?
Yes → Line-scan TDI
Q4. 엔코더 · 정밀 정렬 · 동기 회로 준비 가능한가?
No → TDI는 어렵다. Line-scan(비동기 프리런) 우선 검토
Q5. 예산 여유가 있는가?
TDI 카메라·프레임그래버·엔코더 조합은 2~5배 이상 예산 필요
Area-scan "한 번에 사진을 찍는다" — 정지·짧은 시간
Line-scan "한 줄씩 이어 붙인다" — 연속 이동·초고해상도
Line-scan TDI "여러 줄로 같은 지점을 겹쳐 쌓는다" — √N 배 SNR, 초고속·저조도
TDI는 물체의 움직임이라는 방해 요인을 오히려 이용해서 신호를 만드는 아이디어입니다. 조건만 맞으면 일반 Line-scan으로는 불가능한 이미지가 나옵니다.
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